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掃錨電鏡顯微鏡原子力顯微鏡,靜電力顯微鏡,掃錨電子顯微鏡,掃描離子電導(dǎo)顯微鏡,掃描電化學(xué)顯微鏡等的統(tǒng)稱,是國際上近年發(fā)展起來的表面分析儀器,是綜合運(yùn)用光電子技術(shù)、激光技術(shù)、微弱信號檢測技術(shù)、精密機(jī)械設(shè)計(jì)和加工、自動控制技術(shù)、數(shù)字信號處理技術(shù)、應(yīng)用光學(xué)技術(shù)、計(jì)算機(jī)高速采集和控制及高分辨圖形處理技術(shù)等現(xiàn)代科技成果的光、機(jī)、電一體化的高科技產(chǎn)品。
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