-
◆性能特點(diǎn):
光學(xué)金相顯微鏡和原子力顯微鏡一體化設(shè)計(jì),功能強(qiáng)大。
同時(shí)具備光學(xué)顯微鏡和原子力顯微鏡成像功能,兩者可同時(shí)工作,互不影響。
同時(shí)具備光學(xué)二維測(cè)量和原子力顯微鏡三維測(cè)量功能。
激光檢測(cè)頭和樣品掃描臺(tái)集成一體,結(jié)構(gòu)非常穩(wěn)定,抗干擾性強(qiáng)。
精密探針定位裝置,激光光斑對(duì)準(zhǔn)調(diào)節(jié)非常簡(jiǎn)便。
單軸驅(qū)動(dòng)樣品自動(dòng)垂直接近探針,使針尖垂直于樣品掃描。
馬達(dá)控制加壓電陶瓷自動(dòng)探測(cè)的智能進(jìn)針方式,保護(hù)探針及樣品。
超高倍光學(xué)定位系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)探針和樣品掃描區(qū)域精確定位。
集成掃描器非線性校正用戶編輯器,納米表征和測(cè)量精度優(yōu)于98%。
◆測(cè)量范圍及應(yīng)用:
測(cè)量范圍:二維、三維、Z值、相位、表面形貌、粗糙度、膜厚、形貌、相位。
應(yīng)用:納米材料、石墨烯、薄膜、鈍化膜、短切玻纖復(fù)材、分子篩、TiO2、CrPS4(15)、CrPS4(16)、中空纖維膜絲、粗糙度測(cè)試、四氧化三鐵、M13-PBA等。
◆ 應(yīng)用案例 Application Case
序號(hào)
名稱
技術(shù)參數(shù)
01
工作模式
接觸模式、輕敲模式
02
選配模式
摩擦力/側(cè)向力、振幅/相位、磁力/靜電力
03
力譜曲線
F-Z力曲線、RMS-Z曲線
04
XY掃描范圍
50×50um,可選20×20um,100×100um
05
Z掃描范圍
5um,可選2.5um,10um
06
掃描分辨率
橫向0.2nm,縱向0.05nm
07
樣品尺寸
Φ≤68mm,H≤20mm
08
樣品臺(tái)行程
25×25mm
09
光學(xué)物鏡
5X/10X/20X/50X平場(chǎng)復(fù)消色差物鏡
10
光學(xué)目鏡
10X
11
照明方式
LED柯勒照明系統(tǒng)
12
光學(xué)調(diào)焦
粗微動(dòng)手動(dòng)調(diào)焦
13
攝像頭
500萬像素CMOS傳感器
14
顯示屏
10.1寸平板顯示器,帶圖像測(cè)量功能
15
掃描速率
0.6Hz~30Hz
16
掃描角度
0~360°
17
運(yùn)行環(huán)境
Windows XP/7/8/10操作系統(tǒng)
18
通信接口
USB2.0/3.0