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◆性能特點:
實現(xiàn)樣品保持不動,探針移動掃描的商業(yè)化原子力顯微鏡。樣品尺寸、重量幾乎不受限制,特別適合超大的樣品檢測。
樣品臺可拓展性強,非常便于進行多儀器聯(lián)用實現(xiàn)原位檢測。
電動控制樣品移動臺和升降臺,可任意編程多點位置實現(xiàn)快速自動化檢測。
龍門架式掃描頭設(shè)計,大理石底座,真空吸附和磁性吸附式載物臺。
馬達自動控制加壓電陶瓷自動探測的智能進針方式,保護探針及樣品。
高倍輔助光學(xué)顯微定位,實時觀測與定位探針以及樣品掃描區(qū)域。集成掃描器非線性校正用戶編輯器,納米表征和測量精度優(yōu)于98%。
◆測量范圍及應(yīng)用:
測量范圍:二維、三維、Z值、相位、表面形貌、粗糙度、膜厚、形貌、相位。
應(yīng)用:納米材料、石墨烯、薄膜、鈍化膜、短切玻纖復(fù)材、分子篩、TiO2、CrPS4(15)、CrPS4(16)、中空纖維膜絲、粗糙度測試、四氧化三鐵、M13-PBA等。
◆ 應(yīng)用案例 Application Case
序號
名稱
技術(shù)參數(shù)
01
工作模式
接觸模式、輕敲模式
02
選配模式
摩擦力/側(cè)向力、振幅/相位、磁力/靜電力
03
力譜曲線
F-Z力曲線、RMS-Z曲線
04
XYZ掃描方式
探針驅(qū)動式掃描,壓電陶瓷管掃描器
05
XY掃描范圍
100×100um
06
Z掃描范圍
10um
07
掃描分辨率
橫向0.2nm,縱向0.05nm
08
XY樣品臺
步進電機驅(qū)動控制,移動精度1um
09
XY移動行程
100×100mm(可選200×200mm,300×300mm)
10
樣品載物臺
直徑100mm(可選200mm,300mm)
11
樣品重量
≤15Kg
12
Z升降臺
步進電機驅(qū)動控制,*小步長10nm
13
Z升降行程
15mm(可選20mm,25mm)
14
光學(xué)定位
10X光學(xué)物鏡
15
攝像頭
500萬像素數(shù)字CMOS
16
掃描速率
0.6Hz~30Hz
17
掃描角度
0~360°
18
運行環(huán)境
Windows XP/7/8/10操作系統(tǒng)
19
通信接口
USB2.0/3.0
20
儀器結(jié)構(gòu)
龍門架式掃描頭,大理石底座
21
減震方式
氣浮式減震臺+金屬屏蔽隔音箱(可選主動式減震臺)