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◆性能特點:
激光檢測頭和樣品掃描臺集成一體,結(jié)構(gòu)非常穩(wěn)定,抗干擾性強。
精密探針定位裝置,激光光斑對準調(diào)節(jié)非常簡便。
單軸驅(qū)動樣品自動垂直接近探針,使針尖垂直于樣品掃描。
馬達控制加壓電陶瓷自動探測的智能進針方式,保護探針及樣品。高精度大范圍的壓電陶瓷掃描器,可自由選擇。
高倍物鏡自動光學定位,無需調(diào)焦,實時觀測與定位探針樣品掃描區(qū)域。
彈簧懸掛式防震方式,簡單實用,防震效果好。
金屬屏蔽隔音箱,內(nèi)置高精度溫濕度傳感器,實時監(jiān)測工作環(huán)境。
集成掃描器非線性校正用戶編輯器,納米表征和測量精度優(yōu)于98%。◆測量范圍及應(yīng)用:
測量范圍:二維、三維、Z值、相位、表面形貌、粗糙度、膜厚、形貌、相位。
應(yīng)用:納米材料、石墨烯、薄膜、鈍化膜、短切玻纖復(fù)材、分子篩、TiO2、CrPS4(15)、CrPS4(16)、中空纖維膜絲、粗糙度測試、四氧化三鐵、M13-PBA等。
◆ 應(yīng)用案例 Application Case
序號
名稱
技術(shù)參數(shù)
01
工作模式
接觸模式、輕敲模式
02
選配模式
摩擦力/側(cè)向力、振幅/相位、磁力/靜電力
03
力譜曲線
F-Z力曲線、RMS-Z曲線
04
XY掃描范圍
50×50um,可選20×20um,100×100um
05
Z掃描范圍
5um,可選2.5um,10um
06
掃描分辨率
橫向0.2nm,縱向0.05nm
07
樣品尺寸
Φ≤90mm,H≤20mm
08
樣品臺行程
25×25mm
09
光學觀察
10X光學物鏡/1um分辨率
10
掃描速率
0.6Hz~30Hz
11
掃描角度
0~360°
12
運行環(huán)境
Windows XP/7/8/10操作系統(tǒng)
13
通信接口
USB2.0/3.0
14
減震設(shè)計
彈簧懸掛/金屬屏蔽箱