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請(qǐng)教半導(dǎo)體顯微鏡的正確使用方法?
來(lái)源: | 發(fā)布日期:2022-05-21 15:45:24
 

在實(shí)驗(yàn)室工作怕樣品被污染,會(huì)導(dǎo)致分析數(shù)據(jù)不準(zhǔn)確,前期準(zhǔn)備工作功虧一簣。拿奧林巴斯半導(dǎo)體顯微鏡MX63來(lái)說(shuō)說(shuō)吧,MX63系列在考慮到這一點(diǎn)的同時(shí),加入了人體工學(xué)設(shè)計(jì),保證在長(zhǎng)時(shí)間使用中既能保證舒適,還能保證樣品不受污染。

在實(shí)驗(yàn)室工作怕樣品被污染,會(huì)導(dǎo)致分析數(shù)據(jù)不準(zhǔn)確,前期準(zhǔn)備工作功虧一簣。MX63考慮到這一點(diǎn),該系列增加了人體工程學(xué)設(shè)計(jì),以確保舒適性和樣品在長(zhǎng)期使用中不受污染。

以下四個(gè)功能真的讓你的手遠(yuǎn)離樣品。

1、選擇晶圓自動(dòng)搬送機(jī)-懶人福音

這臺(tái)搬運(yùn)機(jī)與顯微鏡相結(jié)合,可以安全地將硅和復(fù)合半導(dǎo)體晶圓從晶圓盒運(yùn)輸?shù)斤@微鏡載體平臺(tái)。從那時(shí)起,就沒(méi)有必要使用鑷子或其他工具來(lái)運(yùn)輸樣品。

2、電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器:快速清潔

顯微鏡的所有電動(dòng)部件都安裝在保護(hù)結(jié)構(gòu)外殼中。顯微鏡框架、鏡筒、呼吸屏蔽等部件采用防靜電處理,實(shí)現(xiàn)無(wú)污染晶片檢測(cè)。電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器不僅縮短了檢測(cè)間隔,而且保持了你的手在晶圓下,避免了潛在的污染。

3、內(nèi)置離合器 傾斜觀察鏡筒:高效、舒適

只要使用內(nèi)置離合器和XY旋鈕可以實(shí)現(xiàn)對(duì)載體平臺(tái)運(yùn)動(dòng)的粗調(diào)和微調(diào),無(wú)論樣品有多大,都可以實(shí)現(xiàn)有效的觀察。此外,傾斜觀察鏡筒的擴(kuò)展范圍可以讓你坐在顯微鏡前舒適地工作。

4、系統(tǒng)配置:適用于所有晶圓尺寸

該系統(tǒng)可配合各類(lèi)150–200毫米和200– 使用300mm晶圓架和玻璃臺(tái)板。如果生產(chǎn)線(xiàn)上的晶圓尺寸發(fā)生變化,可以更改裝載平臺(tái)或鏡架。MX63各種載體平臺(tái)可用于檢測(cè)75mm、100mm、125mm和150mm晶圓。

許多**次使用相機(jī)的人會(huì)遇到焦點(diǎn)不準(zhǔn)確、照片模糊、曝光不足等問(wèn)題。攝影師喜歡手動(dòng)調(diào)整焦距、光圈和速度,而普通人更喜歡選擇自動(dòng)功能。奧林巴斯半導(dǎo)體顯微鏡現(xiàn)在使用了相同的光學(xué)原理MX63它也有類(lèi)似的功能。光強(qiáng)和孔徑條件可根據(jù)不同的倍率和觀察方法設(shè)置。當(dāng)需要時(shí),這些預(yù)設(shè)設(shè)置可以很容易地調(diào)用,這不僅可以節(jié)省時(shí)間,而且可以獲得良好的圖像質(zhì)量,避免了各種焦點(diǎn)調(diào)整的麻煩。然后,本產(chǎn)品還有集中的顯微鏡操作、手動(dòng)開(kāi)關(guān)、快照按鈕等人體工程學(xué)設(shè)計(jì),缺乏經(jīng)驗(yàn)的操作人員也可以快速啟動(dòng)。

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